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本发明提供了一种发光二极管及其制作方法,其中所述方法包括步骤:一、提供一个LED晶圆,该LED晶圆包含基板及位于该基板上表面之上的发光外延叠层,该发光外延叠层自基板一侧起包含第一类型半导体层、有源层和第二类型半导体层;二、在所述LED晶圆的上表面定义切割道;三、采用激光沿所述基板的切割道进行切割:将激光聚焦于在所述基板的下表面形成表面孔洞,将激光聚焦于所述基板的内部形成内部孔洞,所述表面孔洞的直径大于所述内部孔洞的直径;四、将该LED晶圆沿着所述切割道分离为若干个LED芯片。在上述发光二极管的制
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113875027 A
(43)申请公布日 2021.12.31
(21)申请号 202180003025.5
(22)申请日 2021.06.02
(85)PCT国际申请进入国家阶段日
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