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本发明公开了一种高能粒子表面处理系统,包括底座,所述底座的上端左部固定连接有电气控制箱,所述底座的上端右部固定连接有排气装置,所述排气装置的左端上部穿插固定连接有工作腔室,所述工作腔室的上端中部穿插固定连接有调节装置,所述调节装置的下端中部设置有产品台架,所述工作腔室的左端通过合页活动连接有密封门,所述工作腔室的下端中部固定连接有导入器,所述导入器的上端贯穿工作腔室的下腔壁并固定连接有离子赋能器。本发明的一种高能粒子表面处理系统,提供一种低应力、高精度的加工方式,通过高能离子对产品表面的轰击可以
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113725056 A
(43)申请公布日 2021.11.30
(21)申请号 202111087964.0
(22)申请日 2021.09.16
(71)申请人 常州鑫立离子技术有限公司
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