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2023-06-30 发布于四川
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一种光学元件缺陷检测系统及检测方法.pdf

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本发明公开了一种光学元件缺陷检测系统及检测方法，包括床身支撑模块、隔振模块、定位夹持模块、缺陷检测模块、缺陷分析模块、扫描运动模块和电气控制模块，每个模块完成相应的功能，具体工作步骤包括：开启设备及软件、系统初始化设置、设置系统参数、放置被测样品、设置测量参数、样品扫描测试、检测数据采集、缺陷类型分析、缺陷特性评价和结果输出系统关闭。本发明解决了人工检验可能由于某些人员原因导致的缺陷形貌误判和缺陷定位错误，降低了缺陷定位错误发生率，进一步提高了大口径光学元器件的缺陷检测准确率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113686903 A (43)申请公布日 2021.11.23 (21)申请号 202111094288.X (22)申请日 2021.09.17 (71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究

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