- 1、本文档共27页,其中可免费阅读26页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供一种能够实现载置台的小型化和构造的简化的基板处理系统。基板处理系统具备基板处理装置和控制装置。基板处理装置具有:腔室;载置台,其设置在腔室内,用于载置被处理基板;以及加热器,其被嵌入到载置台的内部的与各个分割区域对应的位置,该各个分割区域是将载置台的上表面分割为多个区域而得到的。控制装置具有:保持部,其按每个分割区域保持表示加热器的电阻值与分割区域的温度之间的关系的表;测定部,其针对每个分割区域测定加热器的电阻值;以及控制部,其针对每个分割区域,参照表来估计与由测定部测定出的加热器的电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113690161 A
(43)申请公布日 2021.11.23
(21)申请号 202110836298.X H01L 21/683 (2006.01)
(22)申请日
您可能关注的文档
- 一种基于配送优先级的多收货地址配送方法.pdf
- 一种基于傅里叶函数预测交通流量的方法、装置、存储介质及终端.pdf
- 一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统.pdf
- 视频播放方法、装置及电子设备.pdf
- 一种电子束固化方式生产双面薄膜增强云母带的制备方法.pdf
- 一种消毒湿纸巾.pdf
- 模式配置方法和模式配置装置.pdf
- 一种用于PWM功率放大电路的电源滤波器.pdf
- 一种虚拟化块存储系统和数据存储方法.pdf
- 一种具有消防排烟功能的装配式建筑结构.pdf
- 2023年11月四川乐山市峨眉山市从“三支一扶”和“大学生志愿服务西部”人员中考核公开招聘乡镇事业单位人员1人笔试历年高频考点-难、易错点荟萃-附带答案详解.docx
- 2022年简洁的青春唯美句子集锦66条.docx
- 2023年11月广东深圳市龙华区选用劳务派遣人员162人笔试历年高频考点(考察重点荟萃)答案解析附后.docx
- 高中英语2024届高考复习咨询求助信写作讲解与练习.doc
- 寒假工工作总结优秀5篇.docx
- 2023年湖北黄冈市招考聘用引进急需紧缺专业人才笔试历年高频考点(考察重点荟萃)答案解析附后.docx
- 2023年10月湖北省黄冈市医疗卫生机构第二批专项公开招聘195名中医药专业技术人员笔试历年高频考点-难、易错点荟萃-附带答案详解.docx
- 2023年四川宜宾市高县招考聘用社区专职工作者31人笔试历年高频考点-难、易错点荟萃-附带答案详解.docx
- 2023年10月山东外国语职业技术大学教职工招聘笔试历年高频考点-难、易错点荟萃-附带答案详解.docx
- 有趣的春节作文七篇.docx
文档评论(0)