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本发明公开了一种具有自调焦功能的玻璃材料微焊接装置及方法。本发明采用激光信号发生/接收器、光束整形器、干涉镜、滤光镜以及二向色镜构成的激光干涉测量模块可对工件位置变化实现纳米级精度的精确监测,同时结合压电陶瓷组为核心的离焦量补偿模块实现了焊接过程中焊接激光焦点可严格控制在待焊接工件的界面处,并随着界面高度的变化而实时、快速调整,调整精度可到纳米级,从而保证作用激光能量一致性,获得焊接工件质量好、焊接稳定性高。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113511823 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 202110858449.1 审查员 叶朗
(22)申请日 2021.07.28
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