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本实用新型提供了一种浮动机构及取放料装置,涉及半导体测试技术领域,该浮动机构包括:吸嘴底板、浮动底板和平移连接件,浮动底板与吸嘴底板相对设置,吸嘴底板背离浮动底板的表面设有第一定位件;平移连接件连接浮动底板和吸嘴底板,且能够使浮动底板与吸嘴底板相对浮动。该浮动机构缓解了相关技术中吸嘴在取放料的过程中会和下部料梭的坑位产生XY的偏差,长期使用中震动会对吸嘴的精度造成累计影响的技术问题。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219203130 U
(45)授权公告日 2023.06.16
(21)申请号 202320078295.9
(22)申请日 2023.01.10
(73)专利权人 杭州长川科技股份有限公司
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