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本申请公开一种光刻胶形成设备,其中光刻胶形成设备包括旋转吸盘和热量调节设备;所述旋转吸盘用于承载晶圆,并向所承载的晶圆表面旋涂初始膜层;所述热量调节设备设于所述晶圆的至少一侧,用于调节光刻胶的受热状态。本申请得到的光刻胶表面平整,采用上述光刻胶进行后续光刻等工艺,能够精准地进行相关工艺控制,提升对应工艺的质量。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219202126 U
(45)授权公告日 2023.06.16
(21)申请号 202320015887.6
(22)申请日 2023.01.04
(73)专利权人 福建省晋华集成电路有限公司
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