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本公开涉及一种晶体管栅氧测试装置及系统，所述装置包括：驱动电压产生模块，用于产生驱动信号；漏电流检测模块，用于检测栅极漏电流，得到检测电压信号，并与预设电压信号进行比较，得到比较结果；控制模块，连接于所述驱动电压产生模块及所述漏电流检测模块，用于根据所述比较结果确定所述待测晶体管的寿命信息。本公开实施例通过在驱动信号中携带第一驱动信号，可以模拟待测晶体管在实际应用中产生的驱动电压尖峰，以完成驱动电压尖峰对待测晶体管栅氧寿命影响的测试，具有高准确度、高效率的特点，且可以对高速、高功率开关进行测试，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113253088 B
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202110707621.3 CN 106019040 A,2016.10.12
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