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本发明提供一种脱胶剂,所述脱胶剂按照质量百分比包括如下组分:有机酸60~80%,渗透润湿剂1~10%,余量为水。所述渗透润湿剂和有机酸相互协同配合,辅助有机酸快速渗透浸润至窄锯缝的硅片和胶体之间,促使胶体溶胀和软化,实现胶体与硅片的分离;所述脱胶剂中还包括分散剂,分散剂与有机酸及渗透润湿剂三者协同,能够有效防止脱胶清洗过程中硅粉团聚,降低硅加工后续的清洗难度。本发明提供的脱胶剂渗透性和分散性好,易于制备,尤其适用于金刚线切割工艺的脱胶清洗工序,具有脱胶效率高、脱胶效果好的特点,是一种具有广阔应用
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112745991 B
(45)授权公告日 2022.05.20
(21)申请号 201911056302.X C11D 1/825 (2006.01)
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