《MEMS技术基础》课程教学大纲（模板）.docx

《MEMS技术基础》课程教学大纲 课程简介 课程中文名 MEMS技术基础 课程英文名 MEMS technologies 课程代码 083M23A 课程学分 3 总学时数 51 课程类别 □通识课程 □学科基础课?专业课 □实验实践课□其他 课程性质 □必修 ?选修 □其他 课程形态 □线上 □线下 ?线上线下混合 □其他 考核方式 □闭卷 ?开卷 □一页开卷 □面试 □口试 □答辩 □论文 □报告 □大型作业 □课程作品 □其他 开课学院 物理科学与技术学院 开课基层教学组织 微电子系 面向专业 微电子科学与工程等 开课学期 1.1学期 课程负责人 审核人 先修课程 半导体物理及工艺 后续课程 微纳机械电子器件集成工艺等 课程网址 /course/UESTC-1449238161 课程简介 微机电系统（MEMS）是二十世纪九十年代发展起来的一门多种学科交叉而成的新兴学科。微机电系统技术基础是机械电子工程专业的一门专业选修课程，它的主要任务是使学生获得微机电系统技术的基本知识，并能用微机电系统的基本概念和基本方法来分析和研究工程实际中的问题，为进一步学习和研究微机电系统新理论和新产品奠定基础。 （英文） 课程目标 通过学习，了解微机电系统的基本设计原则及技巧，掌握微机电器件典型的加工工艺，并且结合工程需求，积极参与各种微机电器件及系统的设计。此外，通过课程学习，同时培养学生核心价值观，树立科学的世界观、积极向上的人生观，以及爱岗敬业的事业观，立志成为有理想信念和人文情怀的科技人才。通过教学活动，达到以下课程目标： 表1 课程目标 序号 具体课程目标 课程目标1 建立核心价值观，坚定勤奋学习、求真学问、科技报国的理想信念。具备初步的科学思维能力与科学伦理，热爱科学探索，立志成为有理想信念和人文情怀的科技人才。 课程目标2 系统掌握微机电系统的整体流程，基本工作原理，器件的制备方式，能够熟练运用半导体硅基工艺知识，分析及设计合理的微纳机械器件。 课程目标3 掌握MEMS课程涵盖的传感器知识，包括压力、加速度传感器工作原理，制备方式、工艺流程，及实际应用到生活中其本质原因，使得对本课程认识的整体素质达到提升和进步。 课程目标与毕业要求对应关系 本课程的课程目标对科学教育专业毕业要求指标点的支撑情况如表2所示： 表2-1 物理学专业：课程目标与毕业要求对应关系 毕业要求 指标点 课程 目标 1、工程知识 能够将数学、自然科学、工程基础和专业知识用于解决微机电系统以及微电子学专业的复杂工程问题。 1.1 能够将数学、自然科学、工程基础和MEMS技术专业知识的基本概念运用到复杂工程问题的适当表述之中。 2，3 2、问题分析 能够应用微电子工艺技术、微纳制造工艺以及传感器的基本原理，表达、并通过文献研究分析微电子学专业的复杂工程问题，以获得有效结论。 能够运用微电机技术、自然科学、工程科学的基本原理以及相关的科学知识对复杂工程问题进行正确识别，能够通过查阅规范、标准、图集和文献资料等对复杂微机械结构问题进行解构和系统分析。 1，2 6、工程与社会 能够基于微纳制造相关的背景知识和标准，评价MEMS器件的相关项目的设计、运行及优化的方案， 并理解微电子学科工程师应承担的责任。 6.4了解MEMS技术基础以及集成电路工程项目对公众健康、公众安全、社会和文化以及法律的影响。 1，3 表2-2 微电子科学与工程专业：课程目标与毕业要求对应关系 毕业要求 指标点 课程 目标 1、工程知识 能够将数学、自然科学、工程基础和专业知识用于解决微机电系统以及微电子学专业的复杂工程问题。 1.1 能够将数学、自然科学、工程基础和MEMS技术专业知识的基本概念运用到复杂工程问题的适当表述之中。 2，3 3、设计（开发）解决方案 能够设计（开发）满足MEMS技术潜在需求的体系、材料结构方案，并在设计环节中考虑社会、健康、安全、法律、文化以及环境等因素。 8-1. 掌握材料、MEMS结构单元等基本设计理念，并能够对后续的电子器件、的结构、体系及优化开展设计。并且，通过思政、人文、社科、体质训练、军训等课程的学习，理解世界观、人生观和价值观的基本意义及其影响。 1，3 课程目标与教学内容和方法的对应关系 表3 课程目标与教学内容、教学方法的对应关系 教学内容 详细内容与要求 教学方法 课程目标 1. 微机电系统概述 （1）教学内容 MEMS的基本概念及特点； MEMS技术的研究领域； MEMS技术的发展。 （2）教学重点：MEMS技术的研究领域。 （3）教学难点：MEMS技术的发展历程及工艺变革。 （4）教学要求：初步理解本课程的意义，熟悉MEMS技术基础的概念、应用基础知识。 课堂讲授、视频学习、讨论 1，2，3 2. 微