EDS定量误差分析及使用技巧.pdf

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2022-05-19 发布于广东
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The Business of Science® EDS定量误差分析及使用技巧应用工程师徐宁安牛津仪器纳米分析部 © Oxford Instruments 2016 CONFIDENTIAL Page 1 AZtec-EDS特点 The Business of Science® • 准确的定量结果 • 准确的面分布及线扫描结果 • 解决样品漂移问题 • 能谱测“相” • 测量薄膜厚度 • 解决大面积测量的难题 © Oxford Instruments 2016 CONFIDENTIAL Page 2 能谱定量分析 The Business of Science® • 1. EDS到底能不能定量？ • 2. EDS定量准不准？ • 3. EDS检测限是多少？ • 4. 如何减小能谱定量分析的误差？ • 5. 轻元素定量问题 • 6. EDS分析条件选择 • 7. EDS分析对样品的要求 © Oxford Instruments 2016 CONFIDENTIAL Page 3 全国微束标委员会制定的国家标准 The Business of Science® GB/T 15244-2013 微束分析硅酸盐玻璃的定量分析波谱法及能谱法 GB/T 17359-2012 微束分析能谱定量分析 GB/T 17361-2013 微束分析沉积岩中自生粘土矿物鉴定扫描电子显微镜及能谱仪方法 GB/T 25189-2010 微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法 © Oxford Instruments 2016 CONFIDENTIAL Page 4 准确的定量结果 The Business of Science® • GB/T 25189-2010 微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法 • 定量分析 • 不包含轻元素，Z>10 • 样品无水分、致密、平坦、导电性良好 • 无重叠峰和干扰峰允许相对误差质量分数合金矿物 wt%>20% 2% 5% 3%≤wt%≤20% 5% 10% 1%≤wt%≤3% 15% 20% 0.5%≤wt%≤1% 20% 30% 0.1%≤wt%≤0.5% 30% 50% © Oxford Instru