透射电镜的构造.pptVIP

光阑 聚光镜光阑 物镜光阑 选区光阑 2.4 透射电镜的实际分辩率 透射电镜的点分辩率测量 晶格分辩率测定金 (220)、(200)晶格像 场发射电子枪 四种电子枪的性能比较 特性 钨丝热阴极 LaB6 冷场发射W(310) 扩展的肖特基发射ZrO/ W(100) 工作温度 2800K 1800K 300K 1800K 亮度（在200kV） 5?105A/cm2sr 5?106A/cm2sr 108~109A/cm2sr 108~109A/cm2sr 光源尺寸 50?m 10?m 10~100nm 0.1~1?m 能量发散度 2.3eV 1.5eV 0.3~0.5eV 0.6~0.8eV 真空度 10-3Pa 10-5Pa 10-8Pa 10-7Pa 灯丝电流 100?A 200?A 20?A 100?A 寿命 100小时 500小时 1000小时 500小时 维修 无需 无需 每隔几小时进行一次闪光处理 安装时稍费时间 价格 便宜 中等 较高 较高 聚光镜 聚光镜的作用是会聚电子枪射出的电子束，并且操作照明孔径角，电流密度〔照明亮度〕和光斑尺寸。 电子束的平移〔a〕和倾斜〔b〕 偏转系统 (2) 成像系统 物镜 形成一个最初的放大像。 物镜的焦平面上可以形成衍射谱，并且物镜光阑可以在此插入。 物镜光阑 放置在物镜的后焦面上 可以选择参与成像的电子，所以影响像的形 成，如明场像暗场像等 改善像的衬度 物镜光阑之明场像 物镜光阑之离轴暗场像 物镜光阑之明场像 物镜光阑之中心暗场像 物镜光阑与衬度 中间镜 中间镜放大物镜所成的原始放大像，它可以聚焦在： ·??物镜所成的原始放大像上 ·??物镜后焦面上形成的衍射谱上 所以它决定显微镜显示屏上是成放大像还是衍射像。 中间镜 投影镜 投影镜只有接力放大的作用 电镜的放大倍数可以从几百到几十万倍，甚至上百万倍，就是靠改变不同的中间镜和投影镜的放大倍数组合来完成的。 投影镜 投影镜 投影镜 Pa Torr mbar 1 Pa = 1 0.0075 0.010 1 Torr = 133 1 1.33 1 mbar = 100 0.750 1 1 micron = 0.133 0.001 0.00133 1 Atm = 101324 760 1013.24 Pa = Pascals Atm = Atmospheres 1 torr = 1mm ? Hg (millimeters of mercury) 2. 真空系统 * * 电镜的真空 ? 电子的平均自由程要求最低真空到达10-3 Torr ? 电源寿命要求 ? W丝? 10-4 Torr ? LaB6灯丝? 10-7 Torr ? 场发射 ? 10-10 Torr 怎样到达好真空？ ? 机械泵 ? 扩散泵 ? 液氮冷却泵 ? 涡轮分子泵 ? 离子泵 **真空最危险地域为枪真空，整个地域要非常清洁。 * Diagram of a TEM vacuum system 试样台和样品架 试样安装有两种方法：顶插方法，侧插方法 样品台的种类：单倾台，双倾台，底背景台，热台 3. 透射电镜的其它主要部件 双倾台： 3mm 的样品极限 * 消像散器 Modern Analytical Instruments and Technology for Materials Modern Analytical Instruments and Technology for Materials 第二章 透射电子显微镜 要点： 电镜的结构 工作原理 2.1 开展简史 1897年：J. J. Thompson发觉了电子。 1924年：Louis de Broglie指出，任何一种接近光速运动的粒子都具有波动性质。 识别了电子波的波长λ=h/mv (如加速电压为60kV时，λ= 0.005 nm) 。 1926年：德国学者 H. Busch指出“具有轴对称的磁场对电子束起着透镜的作用，有可能是电子束聚焦成像〞，这样就为电子显微镜的制作提供了理论依据。 1929年：E. Ruska完成了关于磁透镜的博士论文。 1931年：德国学者 Knoll 和 Ruska制造了第一个电子显微装置，但它还不是一个真正的电子显微镜，因为他没有样品台。 1931-1933年：Ruska等对上述装置进行了改进，制造出了世界上第一台透射电子显微镜。 1934年：透射电子显微镜的超越了光学显微镜到达500?。 1939年：德国的西门子(Siemens)公司生产了世界上第