晶振片知识 教学PPT课件.pptVIP

晶振片知识 * * * * 一﹑什么是晶振片 科学家最早发现一些晶体材料，如石英，经挤压就象电池可产生电流（俗称压电性），相反，如果一个电池接到压电晶体上，晶体就会压缩或伸展，如果将电流连续不断的快速开关，晶体就会振动。 在 1950 年，德国科学家 GEORGE SAUERBREY 研究发现，如果在晶体的表面上镀一层薄膜，则晶体的振动就会减弱，而且还发现这种振动或频率的减少，是由薄膜的厚度和密度决定的，利用非常精密的电子设备，每秒钟可能多次测试振动，从而实现对晶体镀膜厚度和邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此，膜厚控制仪就诞生了。 * * 二﹑晶振片的种类 晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前，市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。 金是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。金最适合于低应力材料，如金，银，铜的膜厚控制。用镀金晶振片监控以上产品，即使频率飘移1MHz，也没有负作用。然而，金电极不易弯曲，会将应力从膜层转移到石英基片上。转移的压力会使晶振片跳频和严重影响质量和稳定性。 银是接近完美的电极材料，有非常低的接触电阻和优良的塑变性。然而，银容易硫化，硫化后的银接触电阻高，降低晶振片上膜层的牢固性。 银铝合金晶振片最近推出一种新型电极材料，适合高应力膜料的镀膜监控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。这些高应力膜层，由于高张力或堆积的引力，经常会使晶振片有不稳定，高应力会使基片变形而导致跳频。 银铝合金通过塑变或流变分散应力，在张力或应力使基体变形前，银铝电极已经释放了这些应力。这使银铝合金晶振片具有更长时间，更稳定的振动。实验室的实验表明镀Si02用 银铝合金晶振片比镀金寿命长400%。 晶振片的电极根据其外观形状分为单锚﹑双锚﹑全双锚，目前使用较多的为双锚电极晶振片。 * * 晶振片常规品牌型号规格 双锚电极 单锚电极 全覆电极 * * INFICON Crystals 零件号 说明 6 MHz INFICON Crystals 直径 0.550 in. (14 mm)，每包 10 颗晶体 008-010-G10 6 MHz 金，洁净室兼容包装 008-009-G10 6 MHz 银，洁净室兼容包装 750-679-G1 6 MHz 合金，洁净室兼容包装 750-1000-G10 6 MHz 金，平板圆盘包装 750-1001-G10 6 MHz 银，平板圆盘包装 750-1002-G10 6 MHz 合金，平板圆盘包装 SPC-1093-G10 6 MHz 金，紧凑型包装 750-1014-G10 6 MHz 银，紧凑型包装 750-1015-G10 6 MHz 合金，紧凑型包装 SPC-1157-G10 6 MHz 金，热震，洁净室兼容包装 SPC-1194-G10 6 MHz 金，热震，平板圆盘包装 晶振片常规品牌型号规格 * * Maxtek Crystals 零件号 说明 0.550 in. (14 mm) Diameter 与大部分传感器（INFICON、Maxtek、Sigma、 Sycon 等）兼容 103200-2 SC-101 6 MHz 晶体，金，每盒 5 颗 103204 SC-150 5 MHz 晶体，金，每盒 5 颗 103220 SC-101 6 MHz 晶体，金，每盘 10 颗 103221 SC-102 6MHz 晶体，银，每盘 10 颗 103240 SC-105 6 MHz 晶体，合金，每盘 10 颗 103222 SC-150 5 MHz 晶体，金，每盘 10 颗 103223 SC-151 5 MHz 晶体，银，每盘 10 颗 0.550 in. (14mm) Dia - Balzers 与 Balzers 传感器兼容 103207 SC-153，5 MHz，银，Balzers 式，每盒 5 颗 103224 SC-152 5 MHz 晶体，金，Balzers 式，每盘 10 颗 0.490 in. (12.5 mm) Diameter 与 Ulvac 和 Sloan 传感器兼容 186201 SC-161 5 MHz 0.490 in. 晶体，金，每盘 10 颗 186200 SC-160 5 MHz 0.490 in. 晶体，银，每盘 10 颗 晶振片常规品牌型号规格 * * * * 三﹑如何选用最合适的晶振片？ 镀膜科技日新月异，对于镀