场发射电子探针简介.pdf

JEOL(Beijing)CO., LTD. 捷欧路(北京)科贸有限公司 北京海淀区中关村南三街6 号中科资源大厦南楼二层 Tel: 86-102/3 ( 日本电子株式会社北京事务所) Fax: 86-10 场发射电子探针简介 一、 日本电子探针JXA-8530F 技术说明： JEOL(Beijing)CO., LTD. 捷欧路(北京)科贸有限公司 北京海淀区中关村南三街6 号中科资源大厦南楼二层 Tel: 86-102/3 ( 日本电子株式会社北京事务所) Fax: 86-10 日本电子致力于电子探针的研究有半个多世纪的历史,从第一代电子探针的面市,到现在 日本电子推出的以最新技术的场发射 (FE) 电子枪为特色的JEOL 场发射电子探针显微分析仪 FE-EPMA，带来了微区表面定量分析的革命。 日本电子2007 年最新推出的第一代场发射电子探针JXA-8500F，使电子探针的图像观察 能力和分析能力发生质的飞跃。经过一段时间改进，第二代场发射探针JXA-8530F 已经推上 市场。JXA-8530F 在继承了 JXA-8500F 的强力硬件―包括场发射电子枪、电子光学系统和分 子泵真空系统的同时，图像的分辨率提高一倍，束斑尺寸最小减小一个数量级，空间分辨率， 分析效率大幅提高。 JXA-8530F 具有日本电子传统的电子探针优势。 (一) 优秀的电子光学系统 日本电子在电子光学设计制造方面有着传统的优势，图像质量好，长时间使用，图像的 分辨率衰减慢，大工作距离11mm 时获得高质量图像是日本电子的强项。二次电子图像分辨率 达到 3nm。日本电子的背散射电子探头性能突出是市场上普遍的反映，将原子序数相近的元 素，以不同的衬度在图像上体现出来，表征这一性能的指标既是“背散射电子探测器的灵敏 度”，日本电子采用高灵敏度、环型半导体背散射探测器，可将成分极为相近的两个相的衬度 反映出来，其意义是显尔易见的。 扫描图像的调整自动化程度高，操作简便日本电子采用专利技术—— “预对电子源”， 更换电子源后，无须机械调整，即可获得图像（电子束），而且灯丝寿命长；操作方便，自动 聚焦、自动消象散、自动衬度和自动亮度等功能的引入，使操作者很容易的获得高质量图像。 束流范围大、稳定而且大小容易改变，这是定量分析的基础，JXA-8530F 束流范围为 5X10-7 -10-12A /束流稳定度为±0.3%/h (二) 波谱系统 JXA-8530F 采用两种尺度的罗兰圆谱仪（100mm 和140mm）进行分光，兼顾分辨率和灵敏 度，提高了它的检测灵敏度。大罗兰圆谱仪波长分辨率高这是它的强项，而小罗兰园谱仪则 追求了高计数率，JXA-8530F 通常采用两种罗兰圆谱仪的搭配，扬长避短，从而实现对样品 的精确分析。 在晶体交换的灵活性和避免误差方面，日本电子的电子探针，其分光晶体可在谱仪的任 何位置处进行晶体交换，这一关键技术可以大大避免样品分析时晶体位置改变带来的误差。 通过分析软件来控制“法拉第杯”的“进”、“出”，避免电子束对样品的不必要辐照，其结果 是分析速度快、污染小和分析结果可靠，适合各种样品的分析。 JEOL(Beijing)CO., LTD. 捷欧路(北京)科贸有限公司 北京海淀区中关村南三街6 号中科资源大厦南楼二层 Tel: 86-102/3 ( 日本电子株式会社北京事务所) Fax: 86-10 (三) 光学显微镜系统 光学显微镜的焦深越小越好，JXA-8530F 焦深：±1μm；另外，日本电子的探针可在计 算机的显示器上同时显示二次电子像、背散射电子像 （分为成分像和拓扑像两种）和光学显 微像，共计四种像 （数字化像），便于分析比较。 (四) 样品台系统 需要关注的指标是：样品