电子行业干盘管一FFU洁净空调系统.PDF

维普资讯 第24巷第1期 建 筑 热 能 通 风 空 调 、101．24 No．1 2005年2月 Building Energy&Environment Feb．2005．64~68 文章编号：1003—0344(2005)01—064—4 电子行业干盘管一FFU洁净空调系统 张昌 (武汉科技学院城市建设学院) 摘 要：本文闸述了电子行业洁净室空调的特点，介绍了H前电子行业常采用的干盘管--FFU洁净空调系统并对 该系统的空气处理过程进行了分析。分析计算表明，由于电子行业洁净室空调冷负荷巨大，可能导致干盘管一 FFU洁净空调系统的换气次数也很大，甚至超过按室内允许含尘浓度计算得出的换气次数。针对十盘管一FFu洁 净空调系统的特殊性，本文提出了工程设计的方法和步骤，并介绍了工程设计的有关参数。本文归纳的设计方法 和步骤叮应用于实际T程设计中。 关键词：电子行业 洁净室 干盘管一FFu 设计 Dry Coil and FFU Cleaning Air Conditioning System in Electronic Industry Zhang Chang (School of Urban Construction，Wuhan University of Science and Engineering) Abstract：In this paper，the characteristic of cleaning room in the electronic industry was expounded，dry coil and FFU cleaning air conditioning system was introduced，and air conditioning course was analyzed．The results showed that the huge cooling load of cleaning room will probably result in the increasing of the air circulation ratio of dry coil and FFU cleaning air conditioning system，or even make the air circulation ratio exceed the allowable level decided by dusty concentration． Based on the analysis， engineering designing steps and the parameters especially for dry coil and FFU cleaning air conditioning system in designing cleaning room were introduced．These designing steps can be applied in engineering． Keywords：electronic industry，cleaning room，dry coil，FFU，design 1 电子行业洁净室的特点 艺对温、湿度变化极为敏感，所以在洁净室里的工艺 区域的空气参数须严格控制在极小的范围内：洁净空 电子行业洁净室空调除了具有高效的净化空气 调系统目前普遍采用了控制灵活、性能可靠的DDC 能力外，还有以下几点与舒适性空调明显不同： 自控系统，当室内空气参数达不到设计要求时，可通 气流分 需要