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本实用新型涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆盒平移机构，包括：承载板，承载板上具有与晶圆盒底部相适应的定位销；驱动模组，驱动模组与承载板连接，用于将承载板朝向靠近或者远离解锁机构的方向驱动；其中，承载板上还具有到位检测模组，用于检测晶圆盒在承载板上是否安装到位。本实用新型在将晶圆盒放置在承载板上时，先通过定位销与晶圆盒底部配合进行定位，再通过到位检测模组对承载板上的晶圆盒检测是否安装到位，检测到晶圆盒放置到位后，最后通过驱动模组将承载板与放置在承载板上的晶圆盒，一同朝向靠近或者远离解锁机构的
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220189597U
(45)授权公告日2023.12.15
(21)申请号202321802880.5
(22)申请日2023.07.10
(73)专利权人江苏圣创半导体科技有限公司
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