多晶硅工艺-三氯氢硅.ppt

内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 在三氯氢硅生产的各个工序中，为防止火灾、中毒事故发生，要严格执行消防安全制度，严格控制工艺指标、火源管理。进行检修时使用的工具应该是不产生火花的工具，严禁用铁器敲打设备或管道，工作人员应穿棉质工作服。生产和贮罐区禁止明火，生产中动火要严格执行有关安全管理制度。 防止跑、冒、滴、漏。日常工作中要搞好安全检查，不留死角。 Title 防火防爆对策 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 设备要定期检修，发现问题及时采取补救措施。配备应急工 具和消防设施。 生产三氯氢硅的企业应配备一定数量的防毒面具、自给式空 气呼吸器、手套、堵漏工具、灭火器等应急工具和消防设施。 应急队的人员要经常进行演练，熟练掌握各种情况下的堵漏 和处置方法。 氯化氢气体缓冲罐与合成炉之间应设止回阀，防止合成炉内 的三氯氢硅回到缓冲罐。 防火防爆对策 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 应控制氯化氢气体的流量，控制合成炉内的温度。对设备 管道要经常进行维护保养。在生产中要确保整个系统密闭， 用99．99％的氮气进行保护。三氯氢硅的沸点较低，要在 低温条件下储存，其贮罐应设置低温保护装置，采取降温 措施。贮罐与生产装置之间要留有一定的防火间距，并且 要设防火堤。降温水的排放管道经过防火堤处要设闸阀。 防火防爆对策 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 贮罐应设静电接地装置和避雷装置。贮罐内的气相要与氮气系统相连。贮罐的气相与外部连通的平衡管应和尾气回 收系统相连，不能直接排空，并设止回阀和阻火器。贮罐区应设一个备用罐，以便紧急情况下将泄漏的物料转移至备用罐，防止大量泄漏。 防火防爆对策 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司  Title 泄漏处理和火灾扑救 生产和贮存过程中如果发生三氯氢硅泄漏，应根据泄漏量 的大小划出警戒区，禁止无关人员和车辆进入警戒区。 切断警戒区内的所有火源，迅速将泄漏污染区内的人员转移至安全地带。如果是贮罐发生泄漏，又不能及时堵漏， 就应该将贮罐内剩余的三氯氢硅用氮气压入备用罐内。如果是生产中的设备和管道发生泄漏，应立即停止生产， 并迅速关闭相关阀门，切断物料输送。 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 泄漏地带有水源时，应用于砂土围成隔离带，将泄漏 的三氯氢硅与水隔离开来。抢险人员进入危险区域时 应佩戴自给式呼吸器或防毒面具，先查明泄漏情况。 由于贮存三氯氢硅的容器为常压容器，应针对不同 的泄漏部位采取不同的堵漏措施，切断泄漏源，用砂土、 水泥吸收残液。三氯氢硅泄漏后发生燃烧时，应用干砂、 二氧化碳、干粉、水泥灭火，禁止直接用水和泡沫扑救。 泄漏处理和火灾扑救 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 2.7.1 、本岗位存在的环境因素如下： ⑴检修时的污水、⑵检修中拆卸的固体废弃物、⑶尾气淋洗产生的废酸水水、 ⑷尾气淋洗产生的SiO2固体废弃物、⑸检修时SiHCl3泄漏、⑹吹渣废水的排放、 ⑺SiHCl3泄漏 运行控制： ⑴　加强设备维护和保养，防止非预期的SiHCl3泄漏。每班巡检相关的设备、 管路，发现泄漏，立即切断料源，及时进行处理。 ⑵　检修时用N2赶料，赶干净。 ⑶　尾气淋洗产生的废酸水水从酸水管道进入污水处理站进行处理。 检修时的污水，也进入污水处理站进行处理。 ⑷　检修中拆卸的固体废弃物集中处理。 ⑸　尾气淋洗产生的SiO2固体废弃物进入污水处理站进行沉淀处理。 ⑹　现场严禁烟火，防止SiHCl3潜在燃烧和爆炸。 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 ⑺　沸腾炉尾气、旋风除尘器及袋滤器排渣的所有废气(渣)， 均应经淋洗塔，然后用大量水稀释再排放。应经常清洗池内 和淋洗塔体内的水解物，保证系统畅通。 ⑴HCl气体泄漏伤人、⑵检修时SiHCl3泄漏伤人、⑶SiHCl3泄漏伤人、 ⑷SiHCl3燃烧爆炸、⑸检修时硅粉粉尘、⑹HF腐蚀伤人、 ⑺检修过程机械伤人、 ⑻管路、设备高空维修作业坠落伤人、⑼水解物撞击着火伤人。 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 易挥发、易汽化、易制备、易还原。 SiHCl3易着火，发火点28℃，燃烧时产生HCl 和Cl2，着火点为220℃。 对金属极为稳定，甚至对金属钠也不起反应。 其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸及二氮乙烯的毒 性程度极为相同。 氯硅烷的化学性质 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 Title 三氯氢硅的合成 三氯氢硅制备原理:沸腾床中硅粉和氯化氢按下列反应生成SiHCl3 内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司 此反应为放热反应，为保持炉内稳定的反应温度在 上述范围内变化以提高产品质量和实收率，必须将 反应热及时带出。随着温度增高，S