水溶性负性光致抗蚀剂的研制.pdfVIP

　第 26 卷 　第 2 期 影 像 科 学 与 光 化 学 Vol . 26 　No . 2 　 　2008 年 3 月 Imaging Science and Photochemistry Mar . , 2008 　 研究简报 水溶性负性光致抗蚀剂的研制 单英敏 , 曹瑞军 , 高 　颖 , 刘 　毅 ( 西安交通大学 理学院 应用化学系 ,陕西 西安 7 10049) ( ) 摘 　要 : 以自制丙烯酰胺双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮 PV P 为 成膜基体物质 ,芳香族叠氮化合物为感光剂 ,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配 方. 通过正交试验确定了最优配方. 即共聚物中AM 与 DAAM 质量比为 1 ∶1 ; P (AMDAAM) 与 PV P 质量比为 1 ∶2 ;感光剂用量为占成膜基体物质质量的 1/ 6 ; 偶联剂用量占成膜基体物质质量的 1/ 60 ;表面活性剂 G18 用量 占成膜基体物 质质量的 1/ 40 . 在该配方下配制的光致抗蚀剂达到商品规格要求. 通过与国外 同类商品的比较得出自制光致抗蚀剂具有同国外商品相当的感光性能. 关 键 词 : 丙烯酰胺双丙酮丙烯酰胺共聚物 ; 聚乙烯吡咯烷酮 ; 水溶性负性光 致抗蚀剂 文章编号 : (2008) 020 11609 　　中图分类号 : TQ57 　　文献标识码 : A 含有芳香族叠氮化合物的水溶性负性光致抗蚀剂是彩色显像管荧光屏黑底制造的 关键材料. 目前 ,我国全部依靠进口,年用胶量达 225 吨 ,约计 200 万美元. 随着国外大公 司纷纷关闭彩管生产线 ,该种光致抗蚀剂的国外生产厂家也纷纷决定终止生产该种光致 抗蚀剂. 而对于我国目前的形势 ,该种光致抗蚀剂仍为彩色显像管生产厂家所需. 因此 ,彩色显像管荧光屏黑底用水溶性负性光致抗蚀剂的国产化刻不容缓. 研制出 具有同国外专利产品性能相当的该种光致抗蚀剂不仅能够降低生产成本 ,减少彩管厂家 在该种原料上的开支 ,更能够解决当国外生产厂家完全停止生产该种光致抗蚀剂后对我 国彩色显像管行业带来的不利影响. 同时 ,水溶性负性光致抗蚀剂除了在彩电行业以外 , 在其它领域如显示器 、监视器生产中也有广泛应用 ,仍然具有巨大的市场. 针对彩色显像管生产厂家对应用于彩色显像管荧光屏黑底制造工艺中的光致抗蚀 剂性能要求 ,本文拟从含有芳香族叠氮化合物的水溶性负性光致抗蚀剂的配制出发 ,系 统地研究配方中各组分对光致抗蚀剂的感光性能的影响. 1 　感光机理 含有芳香族叠氮化合物的光致抗蚀剂的成膜物质经涂复后 ,经干燥成膜 ,分子链是 收稿 日期 :; 修回日期 :. ( ) 作者简介 : 曹瑞军 1956 ,教授 ,研究方向,高分子材料 ,通讯联系人. 116 　第 2 期 单英敏等 : 水溶性负性光致抗蚀剂的研制 　　117 　 线状的 ,但经紫外光照射后 ,双叠氮化合物先分解形成高度活泼的氮烯 自由基 ,这个中间 体具有高的活性 ,能与成膜基体物质发生各种交联反应变成较稳定的化合物. 从而使成 膜基体物质发生交联和固化. 2 　试验部分 ( ( ) ) 2 . 1 　成膜基体物质丙烯酰胺双丙酮丙烯酰胺共聚物 P AMDAAM 的合成 在装有搅拌器 , 回流冷凝管 ,温度计的三 口烧瓶中加入以一定比例配成一定浓度的 丙烯酰胺和双丙酮丙烯酰胺单体的水溶液 ,升温到指定温度后 ,加入氧化还原引发体系 (