WAT测量项目以及测试方法.pdf

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WAT测量项目以及测试方法

Thistemplateistheinternalstandard

coursewaretemplateoftheenterprise

WATIntroduction

1.WAT是什么

2.WAT系统介绍

3.WAT测试项目及方法

ØWAT是什么?

WaferAcceptanceTest(晶片允收测试)

半导体硅片在完成所有制程工艺后,针

对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。

通过对WAT数据的分析,我们可以发现

半导体制程工艺中的问题,帮助制程工艺进

行调整。

ØWAT系统介绍

ManualProber

Agilent

4284ACV

Meter

Cascade

AgilentManual

4156AProber

IVMeter

ØWAT系统介绍

Agilent4070

Agilent4070TELP8XL

system

ØWAT系统介绍

Agilent4070内部结构

AgilentE4411B

SpectrumAnalyzer

Agilent81110A

PulseGenerator

HP4070Server

Agilent3458A

DigitMultimeterAgilent4284A

CVMeter

WAT流程图

Data

CVMeter

Data

Product

EDAServerinformationDCtester

TestProgra4070

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