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WAT测量项目以及测试方法
Thistemplateistheinternalstandard
coursewaretemplateoftheenterprise
WATIntroduction
1.WAT是什么
2.WAT系统介绍
3.WAT测试项目及方法
ØWAT是什么?
WaferAcceptanceTest(晶片允收测试)
半导体硅片在完成所有制程工艺后,针
对硅片上的各种测试结构所进行的电性测试。
通过对WAT数据的分析,我们可以发现
半导体制程工艺中的问题,帮助制程工艺进
行调整。
ØWAT系统介绍
ManualProber
Agilent
4284ACV
Meter
Cascade
AgilentManual
4156AProber
IVMeter
ØWAT系统介绍
Agilent4070
Agilent4070TELP8XL
system
ØWAT系统介绍
Agilent4070内部结构
AgilentE4411B
SpectrumAnalyzer
Agilent81110A
PulseGenerator
HP4070Server
Agilent3458A
DigitMultimeterAgilent4284A
CVMeter
WAT流程图
Data
CVMeter
Data
Product
EDAServerinformationDCtester
TestProgra4070
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