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ICS25.180.10
CCSK61GB
中华人民共和国国家标准
GB/T10067.417-2023
电热和电磁处理装置基本技术条件
第417部分：碳化硅单晶生长装置
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installations-Part417:Siliconcarbidecrystalgrowthinstallations
2023-12-01实施
2023-05-23发布
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国家标准化管理委员会<GX."IIJ
GB/T10067.417-2023
目次
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