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本申请涉及一种角度调节装置及晶圆检测系统。角度调节装置包括:转轴、承载件、连接件、传动机构及安装座,承载件转动连接转轴且承载目标对象;连接件固定连接承载件并带动承载件绕转轴转动;传动机构包括第一传动组件及第二传动组件,第一传动组件活动连接所述连接件且沿第一方向与第二传动组件滑动连接;安装座用于安装传动机构,第二传动组件沿第二方向可滑动连接安装座,第一方向与第二方向相交,当第二传动组件沿第二方向滑动时,带动第一传动组件沿第二方向滑动并推动连接件带动承载件相对转轴转动,第一传动组件还相对第二传动组件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117672941A
(43)申请公布日2024.03.08
(21)申请号202410132005.3
(22)申请日2024.01.31
(71)申请人深圳市森美协尔科技有限公司
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