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本发明公开了一种SHJ太阳电池的TCO导电膜镀膜装置及镀膜工艺,涉及太阳能电池制造技术领域,该镀膜装置包括真空室,真空室内设有机械输送装置,机械输送装置的上方设有阴极结构,阴极结构包括阴极装置,阴极装置的两侧分别设有两套独立控制的工艺气体控制系统。该镀膜工艺,是利用上述装置实施镀膜,分别调节两套独立工艺气体控制系统提供差异化的氧气流量,在阴极装置两侧形成氧含量不同的等离子体区,制件随机械输送装置移动时先后在两个氧含量不同的等离子体区内溅射镀膜。该镀膜装置及镀膜工艺,可实现同靶材同设备条件下差异化
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN110241391A
(43)申请公布日
2019.09.17
(21)申请号20191
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