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本发明提供了一种半导体存储器及其制备方法,应用于半导体技术领域。具体的,可通过在位于浅沟槽隔离中的第二字线沟槽的两侧侧壁上分别设置一第一外延部、在位于有源区中的第一字线沟槽的两侧侧壁上分别设置一第二外延部,进而在沿所述有源区的长轴方向上增大所述有源区的宽度,增大有源区的表面积,增大后续形成的电容结构以及其他器件结构与有源区的接触面积,提高动态随机存取存储器的效能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117596872A
(43)申请公布日2024.02.23
(21)申请号202311533299.2
(22)申请日2023.11.16
(71)申请人福建省晋华集成电路有限公司
地址
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