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本实用新型公开了微型无阀压电泵,涉及压电泵领域,包括框体和位于所述框体外的压电元件,框体上设有流入口和流出口,流出口为,流入口为通过多个单一结构叠加形成的阶梯形流道或通过在单层板上加工成的阶梯形流道或等径流道,框体包括顶板组件、环形板组件和底板组件,顶板组件、环形板组件和底板组件沿厚度方向夹持形成的空腔构成泵腔,流入口和\或所述流出口位于所述顶板组件、环形板组件、底板组件的其中一者、两者或三者上。本实用新型能够通过叠加组合的形式得到阶梯形的流道,最大程度的贴近渐变形缩径流道的同时,能够保证加工效
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220470173U
(45)授权公告日2024.02.09
(21)申请号202420096664.1
(22)申请日2024.01.16
(73)专利权人海豚乐智科技(成都)有限责任公
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