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本发明涉及一种膜基压电驱动器、制备方法及其应用,包括基板、界面粘合增强层和压电驱动活性层的三层非对称膜基压电驱动器;膜基压电驱动器通过一步式激光辅助合成法引入界面粘合增强层,提升了压电驱动器的输出位移、减轻了结构质量、增强了压电驱动器在高频作动和严苛热环境下的界面粘合力及结构完整性,拓宽了其在固体/液体/凝胶/固液混合发动机技术领域的发展与应用。本发明膜基压电驱动器可用作舵翼控制微小型弹体飞行姿态、可与传动装置组合形成舵面驱动系统用于中型导弹飞行姿态调控、可用作压电泵中的压电振子对流体进行精密控
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117241655A
(43)申请公布日2023.12.15
(21)申请号202311116560.9C23C14/06(2006.01)
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