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本发明公开一种近零电容传感器及其制备方法,所述近零电容传感器包括上电极、介电层和下电极,所述下电极、介电层和上电极依次层叠设置,所述介电层由柔性基底及填充于所述柔性基底中的导电材料组成,所述导电材料相对于所述柔性基底的质量分数为5~50wt%。本发明所述介电层由柔性基底及填充于所述柔性基底中的导电材料组成,所述导电材料相对于所述柔性基底的质量分数为5~50wt%,在施加应变或者压力时,导电填料排布方式发生改变,近零电容值处于临界态不稳定,近零电容值很快跃迁到1nf左右,实现了1000以上灵敏度的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117213705A
(43)申请公布日2023.12.12
(21)申请号202311131886.9
(22)申请日2023.09.04
(71)申请人西安电子科技大学
地址7100
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