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本申请提供一种测试检验机台抓取defect能力的标准片及检验方法,涉及光掩模检验设备的领域,其包括从生产图形中截取出的样片;样片设有Defectdie,Defectdie设有若干第一defect图形及若干第二defect图形;第二defect图形以生产图形中存在的defect图形为参照,设置有多种形状、类型及线宽尺寸;第二defect图形设于Defectdie中的小线宽区域。通过检验机台对不同尺寸、形状及类型的第二defect图形的抓取,可以完整的验证检验机台的检验能力,确保检验机台能够检
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117191506A
(43)申请公布日2023.12.08
(21)申请号202310923676.7
(22)申请日2023.07.26
(71)申请人广州新锐光掩模科技有限公司
地址
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