- 1、本文档共18页,其中可免费阅读17页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请实施例提供一种处理腔室的漏率侦测方法和装置,该方法包括:在处理腔室中,对固定在静电吸盘上的基板进行加工处理之后,通过氩气等离子体释放静电吸盘与基板之间的电荷;在释放电荷的过程中,实时获取处理腔室中官能基的发射光谱,发射光谱用于确定官能基的波长和强度之间的关系;根据发射光谱确定波长在640纳米至660纳米之间的第一强度和波长在490纳米至510纳米之间的第二强度;计算第一强度与第二强度的比值,侦测处理腔室的漏率。由于释放电荷是生产基板过程中不可缺少的步骤,从而不需要停止生产基板,不会影响基板
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113539903 A
(43)申请公布日 2021.10.22
(21)申请号 202110808122.3
(22)申请日 2021.07.16
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
您可能关注的文档
- 独脚金内酯类化合物在天麻块茎保鲜中的应用.pdf
- 发动机氮氧化物排放控制方法、控制装置及存储介质.pdf
- 一种增强塑胶材料粘结性的处理方法及其应用.pdf
- 一种混合控制型全功率变换风电机组.pdf
- 一种CHO细胞培养方法.pdf
- 一种具有防治阿尔茨海默症的新型红参的炮制工艺及其相关产品.pdf
- 一种猪肉的冷鲜保藏方法.pdf
- 屏幕镜像方法、装置、设备及存储介质.pdf
- 一种微波发热体氧化锌及其制备方法和应用.pdf
- 一种水旱同步、水旱交替鉴定选育抗旱花生新品种的方法.pdf
- 2024年驱蚊草行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年全犬种行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年全套厨房刀具行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年仁果类和核果类水果种植行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年全套勺铲行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年轻小型起重设备制造行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年人造大理石行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年人造纤维(纤维素纤维)制造行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年情侣款行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
- 2024年热熔胶棒行业分析报告及未来五到十年行业发展趋势报告.docx
文档评论(0)