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2023-10-25 发布于四川
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一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置.pdf

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本实用新型公开了一种燃料发射器及含有其的EUV辐射源产生装置。燃料发射器，包括喷嘴，在喷嘴的内壁上轴向设置有两组导电体，在喷嘴的外壁上对称设置有两根导线，两根导线分别与两组导电体电性连接；还包括磁场发生器，磁场发生器设置在喷嘴的外部且磁场方向垂直于喷嘴和导线；在喷嘴和磁场发生器的外侧设置有外壳，所述喷嘴最外端部分探出外壳外侧；还包括燃料泵，燃料泵的进料端通过绝缘管与燃料储罐相连通，燃料泵的出料端通过绝缘管与喷嘴的进口相连通。本实用新型中，可实现燃料的连续两次的精准击打，使其激发出极紫外光光子，形

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219893498 U (45)授权公告日 2023.10.24 (21)申请号 202321187144.3 (22)申请日 2023.05.17 (73)专利权人张玥地址 110000 辽

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