化学气相沉积镀膜设备布气装置.pdfVIP

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2023-10-13 发布于四川
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化学气相沉积镀膜设备布气装置.pdf

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本实用新型公开了一种化学气相沉积镀膜设备布气装置，包括布气盒、上层布气管、下层布气管，布气盒为由真空室盖板、布气框以及靠近基片侧的布气板组成的一个封闭盒体，上层布气管、下层布气管均由进气管、方通管、导流管道组成，进气管穿过一侧布气框与设置在布气盒内的方通管连通，导流管道均布在方通管相互平行的两条管道之间，导流管道两端与方通管连通，导流管道上均匀分布有多个布气微孔，上层布气管的导流管道与下层布气管的导流管道交错布置，在布气板上分布有多个喷气嘴。本实用新型可将多种工艺气体混合后均匀的喷淋到基片的表面

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210657127 U (45)授权公告日 2020.06.02 (21)申请号 20192