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一种干燥装置及真空箱氦检漏装置.pdfVIP

一种干燥装置及真空箱氦检漏装置.pdf

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    本实用新型涉及真空箱检漏技术领域，提供了一种干燥装置及真空箱氦检漏装置，包括：用于连接被检工件的设备接口；用于干燥所述被检工件中气体的干燥组件，所述干燥组件经第一管路与所述设备接口连通，所述干燥组件上设有加热组件，所述加热组件用于给所述干燥组件烘烤除湿；用于抽出或排入气体的压缩机，所述压缩机经第二管路与所述干燥组件连通设置；用于存储干燥后气体的储气罐，所述储气罐经第三管路与所述压缩机连通设置。该装置通过简单的结构，对循环使用的氦气中进行干燥，排除了由于氦气内水分超标导致的充气柜水分超标的可能性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 210375565 U (45)授权公告日 2020.04.21 (21)申请号 20192

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