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本发明提供能够容易地对PVD法中使用的靶进行更换的靶更换装置及使用其的表面处理设备。上述靶更换装置为对靶进行更换的靶更换装置,上述靶用于利用PVD法针对腔室内部的减压空间中的被表面处理材料实施表面处理,上述靶更换装置具备:靶保持部,其保持上述靶;装拆机构,其将上述靶保持部在上述靶与上述减压空间中的上述被表面处理材料相对的位置处以装拆自由的方式安装于上述腔室;和隔离机构,其以开闭自由的方式将安装于上述腔室的上述靶保持部相对于上述减压空间隔离。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111868294 A
(43)申请公布日 2020.10.30
(21)申请号 201980020468.8 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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