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一种功率场效应管及其制备方法,属于场效应管技术领域,为了解决传统的场效应晶体管由于结构设置,对于绝缘层的利用率不高,在用于隔离电极之间的导电部分时,不便于达到降低漏电流、提高击穿电压以及增强绝缘性能的问题;本申请通过设置第一绝缘层、栅氧化层、石墨烯层、第二绝缘层、氮化硅包裹层以及第三绝缘层,达到了多层绝缘层的手段,通过控制表面吸附、表面扩散和气相反应三个因素,来进一步完善绝缘层薄膜的结构完善以及良好绝缘性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116722031 A
(43)申请公布日 2023.09.08
(21)申请号 202310895723.1 H01L 29/10 (2006.01)
(22)申请日 2023.07.
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