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本实用新型涉及一种精简工艺的微镜芯片,采用SOI硅片,驱动器布置于第三层,质量块与转轴布置在第一层,第二层布置支持结构,其中驱动器采用面内驱动器结构,可以实现面内驱动,通过中层支撑结构产生面外驱动转矩,带动质量块运动,可以实现快速扫描和大角度扫描驱动结构;该结构工艺上利于实现,不挑战工艺难点,可以大大简化面外运动加工难度,实现大角度,大质量块驱动;相对于多层机构的MEMS省去了多次键合的工艺,简化了制造工艺,大大降低加工成本和加工难度,提高成品率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210366974 U
(45)授权公告日
2020.04.21
(21)申请号 20192
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