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本实用新型涉及一种压轴装置及键合装置,压轴装置用于对材质不同的第一晶圆与第二晶圆进行键合,装置包括内轴、外轴、内压力部及外压力部,内轴沿第一方向延伸且具有沿第一方向相对的施压面及受压面;外轴环绕内轴,内轴位于外轴的内部;内压力部设置于内轴的受压面,用于经由受压面向内轴施加第一压力;外压力部环绕内压力部,内压力部位于外压力部的内部;外压力部用于向外轴施加第二压力;第二压力沿第一方向的分量值大于第一压力沿第一方向的分量值。通过对第一晶圆与第二晶圆的中间区域与边缘区域施加不同压力,有效排除第一晶圆与第
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219610355 U
(45)授权公告日 2023.08.29
(21)申请号 202320315842.0
(22)申请日 2023.02.24
(73)专利权人 重庆康佳光电科技有限公司
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