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一种结构包括形成在基板上的底层、形成在底层上的心轴层,以及形成在心轴层上的间隔物层。底层包含第一材料,并且间隔物层包含第二材料。第一材料耐受第一蚀刻工艺中使用以去除该间隔物层的部分的蚀刻气体,并耐受第二蚀刻工艺中使用以去除该心轴层的蚀刻气体。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116670802 A
(43)申请公布日 2023.08.29
(21)申请号 202180077832.1 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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