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本实用新型公开了一种晶片干燥装置,包括箱体,所述箱体的上方设有用于从上往下送风的风机过滤机组,所述风机过滤机组下方设有若干个加热灯,所述加热灯通过支架水平安装在箱体的内部,所述加热灯的下方设有翻转器,所述翻转器包括卡座、设在卡座内的翻转轴和套装在翻转轴两端的轴承,所述翻转器通过翻转轴两端的轴承安装在箱体内,所述卡塞安装在翻转器的卡座上,所述卡塞上设有若干个平行分布的卡槽。本实用新型提供的晶片干燥装置在工作时,风机过滤机组开启,加热灯加热,通过翻转器中翻转轴的转动,带动卡塞中的晶片转动,经过一段时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 210180089 U
(45)授权公告日
2020.03.24
(21)申请号 20192
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