GB/T 42676-2023半导体单晶晶体质量的测试　X射线衍射法.pdf

ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT42676 2023 半导体单晶晶体质量的测试 射线衍射法 X — Testmethodforcrstalline ualitofsemiconductivesinlecrstal y q y g y X-ra diffractionmethod y 2023-08-06发布 2024-03-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT42676 2023 前 言 / — 《 : 》 本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定 GBT1.1 2020 1 起草。 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别专利的责任 本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )和全国半导体设备和材料标准 SACTC203 化技术委员会材料分技术委员会( / / )共同提出并归口。 SACTC203SC2 : 、 本文件起草单位 中国电子科技集团公司第四十六研究所 有色金属技术经济研究院有限责任公 、 、 、 ( ) 、 司 北京通美晶体技术股份有限公司 山东有研半导体材料有限公司 弘元新材料 包头 有限公司 哈 、 、 ( ) 尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 浙江海纳半导体股份有限公司 国标 北京 检验认证 、 、 、 、 有限公司 丹东新东方晶体仪器有限公司 有研国晶辉新材料有限公司 江苏卓远半导体有限公司 新美 ( ) 。 光 苏州 半导体科技有限公司 :