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本实用新型公开了一种淬硬性材料清洗干燥装置,包括:工作台;清洗箱,清洗箱至少部分设置在工作台上,且清洗箱包括供硅片进出的输入口和输出口;刷洗机构,刷洗机构至少部分设置在清洗箱的内部;清洗干燥装置包括定位机构,定位机构具有能够沿清洗干燥装置上下方向移动的定位轮;清洗干燥装置还包括运送硅片的传送机构,传送机构至少部分设置在输入口和输出口之间;定位轮具有围绕硅片并与硅片抵接的第一位置,以及与硅片分离的第二位置;当定位轮处于第一位置时,刷洗机构刷洗硅片,当定位轮处于第二位置时,传送机构通过输出口将硅片送
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219513055 U
(45)授权公告日 2023.08.11
(21)申请号 202320357311.8
(22)申请日 2023.02.22
(73)专利权人 浙江晶盛机电股
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