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一种探针调节件、探针架及测试平台.pdf

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本发明提供一种探针调节件、探针架及测试平台,属于芯片测试技术领域,其中,探针调节件包括:调节件本体,具有螺纹段和连接在螺纹段一端的阻挡部,阻挡部的外径大于螺纹段,螺纹段的中心具有朝向远离阻挡部的一端开口的中心孔;第一弹性件,套设于螺纹段上,第一弹性件的一端抵接在阻挡部上;第二弹性件,装设于中心孔内,第二弹性件的伸出中心孔的一端用于与探针的摆臂接触;本发明的探针调节件,通过第一弹性件对阻挡部进行弹性抵接,从而保证螺纹段进行螺纹连接时沿轴向保持相对稳定,进而提高调节精度,通过第二弹性件用于对探针的摆

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116519998 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310491079.1 (22)申请日 2022.04.21 (62)分案原申请数据

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