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多晶铸锭生产工艺培训 多晶铸锭生产工艺培训 2011-7-19 浙江昱辉阳光能有有限公司 1 太阳能光伏产业链 浙江昱辉阳光能有有限公司 2 多晶硅片生产流程 浙江昱辉阳光能有有限公司 3 多晶铸锭 浙江昱辉阳光能有有限公司 4 硅锭开方 浙江昱辉阳光能有有限公司 5 切断、倒角、磨面 浙江昱辉阳光能有有限公司 6 多晶切片 浙江昱辉阳光能有有限公司 7 预清洗、脱胶 浙江昱辉阳光能有有限公司 8 硅片清洗 浙江昱辉阳光能有有限公司 9 硅片检验 浙江昱辉阳光能有有限公司 10 一 多晶硅锭的组织结构与结晶炉热场 二 定向凝固时硅中杂质的分凝 三 定向凝固生长方法 四 多晶铸锭作业流程 五 硅锭、硅块性能检测 浙江昱辉阳光能有有限公司 11 一、多晶硅锭的组织结构与结晶炉热场 一、多晶硅锭的组织结构与结晶炉热场 多晶硅锭结构特征是柱状晶，即晶体生长沿垂直方向由下向上，通过定向凝固的结晶 （Directional Solidification-Crystallization）过程实现。 浙江昱辉阳光能有有限公司 12 1、热场：即温度场，是温度分布随时间和空间的变化，实际为非稳态。 熔硅在凝固结晶过程中，通过控制结晶炉内的热场，形成可控的单向热流（晶体生长方 向与热流方向相反）。合适的温度场是多晶硅锭形成和获得优质大晶粒晶体的基本工艺条 件。 2、固-液界面：结晶生长前沿，硅在熔点温度下发生熔化-凝固，熔化吸热，是过热过 程，凝固放热，是过冷过程。在硅熔点（1422℃）附近存在固-液界面区。 形状：凹、凸和平坦型。 重要性：关系到硅锭内晶粒尺寸、位错方向、杂质偏聚、热应力分布。固液界面的微观结 构和移动过程决定了晶体的生长机制。 3、温度梯度：炉内等温线上任一点上的法线，是指向温度升高方向的矢量。 4 、热流密度：正比于温度梯度但方向相反的矢量。 q=-k ΔT （热传导系数k是温度、压力、晶向的函数） 浙江昱辉阳光能有有限公司