材料分析测试技术 课件 第九、十章 扫描电镜和电子探针 概述、电子探针显微分析.pptx

材 料 分 析 测 ;PowerPoint 演示文稿;SEM;扫描电子显微镜特点：;PowerPoint 演示文稿;第一节 电子束与固体样品作用时;一、背散射电子;PowerPoint 演示文稿;二、二次电子;PowerPoint 演示文稿;三、吸收电子;四、透射电子;五、四种电子信号间关系;PowerPoint 演示文稿;六、特征X射线;七、俄歇电子;第二节 扫描电子显微镜的结构和;1、电子光学系统（镜筒）;PowerPoint 演示文稿;（2）电磁透镜;（3）扫描线圈;（4）样品室;2、信号收集处理和图像显示记录;3、真空系统和电源系统;二、扫描电镜工作原理;三、扫描电镜的主要性能;2、分辨率;（1）电子束与轻元素样品作用;PowerPoint 演示文稿;（2）电子束与重元素样品作用;（3）扫描电镜分辨率主要影响因;3、景深;四、样品制备;第三节 表面形貌衬度原理及其应;二、二次电子成像原理;样品表面和电子束相对位置与二次;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;实际样品表面的形貌;样品表面与检测器的位置关系;三、二次电子形貌衬度的应用;PowerPoint 演示文稿;2、断口形貌观察;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;3、磨损表面形貌观察;4、纳米结构材料形态观察;5．生物样品的形貌观察;第四节 原子序数衬度原理及其应;一、背散射电子原子序数衬度原理;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;原子序数衬度像;二、吸收电子衬度原理及应用;PowerPoint 演示文稿;三、特征X射线衬度原理（能谱分;能谱仪Energy dispe;锂漂移硅Si(Li)探测器;锂漂移硅Si(Li)探测器;能谱仪的工作原理;PowerPoint 演示文稿;(1) 定点定性分析;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(3) 面扫描分折;(3) 面扫描分折;PowerPoint 演示文稿;能谱定性分析;能谱定性分析;第五节 电子探针X射线显微分析;电子探针X射线显微分析;一、电子探针仪的结构与工作原理;1、波谱仪（WDS）的结构和工;PowerPoint 演示文稿;回转式波谱仪和直进式波谱仪;回转式波谱仪;直进式谱仪;直进式谱仪;PowerPoint 演示文稿;分光晶体;分光晶体;X射线探测器;X射线记数和记录系统;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;波谱仪和能谱仪的比较;PowerPoint 演示文稿;四、电子探针仪的分析方法及应用;(1) 定点定性分析;波谱定性分析;波谱定性分析;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(2) 线扫描分折;(3) 面扫描分折;(3) 面扫描分折;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;(4) 定量分析;2．电子探针仪的应用;(1) 组分不均匀合金试样的微;微区成分分析;(2) 扩散对试样中成分梯度的;(3) 金属／半导体界面反应产;化合物的成分;总结;PowerPoint 演示文稿;作业;作业材 料 分 析 测 ;PowerPoint 演示文稿;SEM;扫描电子显微镜特点：;PowerPoint 演示文稿;第一节 电子束与固体样品作用时;一、背散射电子;PowerPoint 演示文稿;二、二次电子;PowerPoint 演示文稿;三、吸收电子;四、透射电子;五、四种电子信号间关系;PowerPoint 演示文稿;六、特征X射线;七、俄歇电子;第二节 扫描电子显微镜的结构和;1、电子光学系统（镜筒）;PowerPoint 演示文稿;（2）电磁透镜;（3）扫描线圈;（4）样品室;2、信号收集处理和图像显示记录;3、真空系统和电源系统;二、扫描电镜工作原理;三、扫描电镜的主要性能;2、分辨率;（1）电子束与轻元素样品作用;PowerPoint 演示文稿;（2）电子束与重元素样品作用;（3）扫描电镜分辨率主要影响因;3、景深;四、样品制备;第三节 表面形貌衬度原理及其应;二、二次电子成像原理;样品表面和电子束相对位置与二次;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;实际样品表面的形貌;样品表面与检测器的位置关系;三、二次电子形貌衬度的应用;PowerPoint 演示文稿;2、断口形貌观察;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;PowerPoint 演示文稿;3、磨损表面形貌观察;4、