YS_T 1654-2023《氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法》.pdf

ICS 77.040 CCSH17 YS 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T 1654—2023 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含 量的测定 辉光放电质谱法 Methods forchemicalanalysisof highpurity galliumnitride —Determinationoftrace impurityelementscontents —Glowdischargemass spectrometry （报批稿） 202X－XX－XX 发布 202X－XX－XX 实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 1 YS/T ××××-202× 前 言 本文件按照GB/T 1.1—2020 《标准化工作导则 第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243） 、全国半导体设备和材料标准化技术委员会 材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。 本文件起草单位：国标（北京）检验认证有限公司、国合通用测试评价认证股份有限公司、广东先 导稀材股份有限公司、厦门市科力电子有限公司、北京清质分析技术有限公司、贵研检测科技（云南） 有限公司。 本文件主要起草人：刘红、刘鹏宇、胡芳菲、杨复光、刘丽媛、赵景鑫、孙道儒、朱赞芳、谭秀珍、 李俊需、李铭、马媛。 I YS/T ××××-202× 氮化镓化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法 1 范围 本文件规定了氮化镓中杂质元素含量的测定方法。 本文件适用于氮化镓中杂质元素含量的测定。各元素测定范围见表1。 表1 测定范围 测定范围 测定范围 测定范围 测定范围 测定范围 元素 元素 元素 元素 元素 μg/g μg/g μg/g μg/g μg/g Li 0.005～5.0 V 0.005～5.0 Zr 0.005～5.0 La 0.005～5.0 Ta 2.0～5.0 Be 0.005～5.0 Cr 0.005～5.0 Nb 0.005～5.0 Ce 0.005～5.0 W 0.005～5.0 B 0.005～5.0 Mn 0.005～5.0 Mo 0.01～5.0 Pr 0.005～5.0 Re 0.005～5.0 F 0.05～5.0 Fe 0.005～5.0 Ru 0.005～5.0 Nd 0.005～5.0 Os 0.005～5.0 Na 0.005～5.0 Co 0.005～5