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本申请提供了一种硅片位置检测装置,其中,该装置包括底座、竖直支架、设置在竖直支架上的移动件、放置台、电机、信号发射器、信号接收器和控制器,竖直支架的一端与底座固定连接,竖直支架的另一端分别固定有信号发射器和信号接收器,信号发射器和信号接收器对齐设置,且在信号发射器和信号接收器之间形成有可移动空间,放置台用于承放硅片盒,硅片盒内放置有多个硅片,放置台与移动件连接,在电机的转动下带动移动件移动来控制放置台沿竖直方向运动,以使硅片盒内的多个硅片依次通过可移动空间;控制器根据信号接收器对应的探测时间,确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116466548 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310506841.9
(22)申请日 2023.05.06
(71)申请人 北京半导体专用设备研究所(中国
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