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一种单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法,复合传感器包括通过硅基垂直互连集成的MEMS压力传感器和MEMS加速度传感器,二者分别布置在硅基相背的工作面上;MEMS压力传感器为压阻式传感器,包括一个多翼型敏感膜,多翼型敏感膜形成于所述硅基的上表面,多翼型敏感膜的表面形成有半岛结构、孤岛结构及中央凸台结构,半岛结构的上表面均设置一个第一压阻器件;MEMS加速度传感器包括设置于所述硅基下表面的多悬臂梁结构,多悬臂梁结构包括多个悬臂梁和一个中央质量块;悬臂梁上设置第二压阻器件。本发明不仅能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116462153 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310610556.1 B81C 3/00 (2006.01)
(22)申请日 2023.05.2
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