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本申请提供一种石墨电阻炉,涉及晶体生长技术领域,包括石墨坩埚、与所述石墨坩埚连接的旋转装置以及设置在所述石墨坩埚外侧的加热装置,所述石墨坩埚内用于容置原料,所述石墨坩埚具有坩埚盖,所述坩埚盖的内壁上设置有多个用于放置籽晶的容置位。石墨电阻炉通过石墨坩埚发热体发热,通过热辐射传递到炉内坩埚,可实现炉内温场的可控,因此石墨电阻炉生长的晶体质量高、尺寸大、可重复性强,通过加大石墨坩埚内部尺寸,可以在坩埚盖上粘贴多个籽晶,实现一炉晶体同时生长多个高质量晶体,提高生产效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219385399 U
(45)授权公告日 2023.07.21
(21)申请号 202223499670.1
(22)申请日 2022.12.26
(73)专利权人 苏州优晶光电科技有限公司
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