14 1其他传感器气体湿度生物.pdf

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名称 检测原理、现象 代表性气敏元件及材料 检测气体 可燃性气体、C H CO、 表面控制型 SnO 、ZnO 、In O 、WO 等 2 2 电 2 2 3 3 C-Cl -F 、NO 等 2 2 2 阻 型 体控制型 γ-Fe O 、TiO 、Nb O 等 可燃性气体 、 H2n 、 2 3 2 2 5 、 H2n+2等 半导体气敏 二极管整流作用 Pd/CdS、Pd/TiO 、Pd/ZnO等 H 、CO、SiH 等 元件 2 2 4 非 FET气敏元件 以Pd、Pt、SnO 为栅极的MOSFET H 、CO、H S、NH 电 2 2 2 3 阻 Pd-BaTiO 、CuO-BaSnO 、CuO- 型 电容型 3 3 CO2 BaTiO 、Ag-CuO- BaTiO 等 3 3 电池电动势 CaO-ZrO 、Y O -ZrO 、Y O - TiO 等 O 、卤素、SO 、SO 等 2 2 3 2 2 3 2 2 2 3 混合电位 CaO-ZrO 、有机电解质等 CO、H 固体电解质 2 2 气敏元件 电解电流 CaO-ZrO 、YF 、LaF O2 2 6 3 电流 Sb O ·nH O H 2 3 2 2 接触燃烧式

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