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本实用新型涉及切割装置技术领域,具体为一种半导体晶圆精准切割装置,包括支撑座、平衡调节杆、底座、水平气泡、竖杆切割机、激光切割机、显微镜、放大镜、切割液箱、抽液泵以及置物台,所述平衡调节杆设置在底板顶底部,且贯穿底板,所述水平气泡设置在底板顶部,且与平衡调节杆连接,所述平衡调节杆上设有调节螺母,所述支撑座安装在平衡调节杆底部,所述切液箱以及抽夜泵安装在底座上,所述抽液泵外侧设有保护壳,所述保护壳与切割液箱连接,所述置物台设置在切割液箱以及保护壳顶部,所述抽液泵上设有吸液管以及出液管,所述吸液管贯
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214212616 U
(45)授权公告日 2021.09.17
(21)申请号 202022442946.7
(22)申请日 2020.10.29
(73)专利权人 济
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