DB32 3747-2020半导体行业污染物排放标准.pdf

ICS 13.020.40 Z 60 江 苏 省 地 方 标 准 DB32/3747-2020 半导体行业污染物排放标准 Emission standard of pollutants for semiconductor industry 2020-02-06 发布 2020-03-01 实施 目 次 前 言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 3 4 水污染物排放控制要求 4 5 大气污染物排放控制要求 6 6 污染物监测要求 8 7 达标判定 10 8 标准的实施与监督 11 前 言 本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放限值、监测和监控要求，以及标准实施与 监督等相关规定。 本标准未规定的污染物项目仍执行国家或地方相应的污染物排放标准。 本标准实施后，国家新发布的行业标准严于本标准时，应执行国家标准。环境影响评价文件或排 污许可证要求严于本标准时，按照批复的环境影响评价文件或排污许可证执行。 本标准根据GB/T 1.1起草。 本标准为首次发布。 本标准由江苏省生态环境厅提出并归口。 本标准江苏省人民政府于2019年12月11日批准。 半导体行业污染物排放标准 1 范围 本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准限值、监测要求、达标判定、实施与 监督。 本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理，以及半导体企业排污许可 管理、建设项目环境影响评价、建设项目环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。 半导体企业与污水集中处理设施采用协商方式确定企业水污染物间接排放限值时，污水集中处理 设施的水污染物排放管理也适用于本标准。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 3095 环境空气质量标准 GB 3838 地表水环境质量标准 GB/T 6920 水质 pH 值的测定 玻璃电极法 GB/T 7466 水质 总铬的测定 GB/T 7467 水质 六价铬的测定 二苯碳酰二肼分光光度法 GB/T 7470 水质 铅的测定 双硫腙分光光度法 GB/T 7471 水质 镉的测定 双硫腙分光光度法 GB/T 7475 水质 铜、锌、铅、镉的测定 原子吸收分光光度法 GB/T 7484 水质 氟化物的测定 离子选择电极法 GB/T 7485 水质 总砷的测定 二乙基二硫代氨基甲酸银分光光度法 GB/T 7494 水质 阴离子表面活性剂的测定 亚甲蓝分光光度法 GB 8978 污水综合排放标准 GB/T 11893 水质 总磷的测定 钼酸铵分光光度法 GB/T 11901 水质 悬浮物的测定 重量法 GB/T 11907 水质 银的测定 火焰原子吸收分光光度法 GB/T 11910 水质 镍的测定 丁二酮肟分光光度法 GB/T 11912 水质 镍的测定 火焰原子吸收分光光度法 GB 13271 锅炉大气污染物排放标准 GB/T 15432 环境空气 总悬浮颗粒物的测定 重量法 GB/T 15516 空气质量 甲醛的测定 乙酰丙酮分光光度法 GB/T 16157 固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法 GB/T 16489 水质 硫化物的测定 亚甲基蓝分光光度法 HJ/T 27 固定污染源排气中氯化氢的测定 硫氰酸汞分光光度法 HJ/T 28 固定污染源排气中氰化氢的测定 异烟酸-吡唑啉酮分光光度法 HJ/T 30 固定污染源排气中氯气的测定 甲基橙分光光度法 HJ 38 固定污染源废气 总烃、甲烷和非甲烷总烃的测定 气相色