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本发明公开了一种工艺和多塔真空变压吸附装置,所述工艺和装置用于在1.2MPa‑3.0MPa从含有95.0vol%‑99.9vol%氢气和一种或多种杂质的原料气中生产超高纯氢气(≥99.997vol%)。在本发明中,所述装置包括六个并联的吸附塔、对应每个塔的五个控制阀、原料气缓冲罐、产品气缓冲罐和真空泵。在本发明的装置中实现真空变压吸附(VPSA)循环的工艺包括3步或3步以上的顺流减压步骤、3步或3步以上的逆流加压步骤和1步真空吹扫。所述工艺可以通过自动或程序控制、优化输出和低成本操作,在专门设计
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116390797 A
(43)申请公布日 2023.07.04
(21)申请号 202180074382.0 (74)专利代理机构 北京市安伦律师事务所
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